Titanium halvledarkomponenter
Halvledarbrickan av-titaniumlegering som lanserats av China Super Tech Co., Ltd. är en nästan-nätformad-kärnkomponent speciellt designad för hög-litografiutrustning. Dess vikt är cirka 80 kg. Den är gjord av ett titanlegeringssubstrat genom en gjutningsprocess i ett-stycke och kan stabilt bära wafermoduler i en halvledarproduktionsmiljö med hög-renhet och hög{11}}vibration. Detta minskar avsevärt materialspill och precisionsavvikelser orsakade av traditionella bearbetningsmetoder.
- produkt introduktion
Produktegenskaper
1. Låg materialförlust
Genom att använda bågplasmaavsättningsprocessen och använda titantråd som råmaterial för lager-}för-lagersmältning och formning är materialutnyttjandet 70 % högre än för traditionell fräsning, vilket minskar onödig förbrukning av dyrbara titanmaterial.
2. Hög strukturell styvhet
Efter formningen är den inre strukturen tät och enhetlig, utan de vanliga porositetsdefekterna i traditionell gjutning. Det är mindre sannolikt att den deformeras under utrustningens höghastighetsrörelseförhållanden, och precisionsfluktuationen är mindre än 0,02 mm under lång-användning.
3. Låg restspänning
Efter formning ges en exklusiv temperatur-kontrollerad åldringsbehandling för komponenterna. Restspänningen inuti komponenterna är mycket lägre än industristandardnivån. Ingen oväntad deformation kommer att inträffa under efterföljande precisionsbearbetning.
4. Hög renlighet och kompatibilitet
Ytan på titanlegeringen kan behandlas med passivering, som inte är benägen för utfällning av metallpartiklar och helt uppfyller halvledarverkstadens höga krav på renhetsproduktion.
Produktapplikation
1. Waferbärare för litografiutrustning
Som waferbärarbricka i litografisystemet håller den fast wafermodulen under höghastighetsrörelsen och den exakta inriktningsprocessen, vilket förhindrar att wafern förskjuts under exponeringsprocessen och säkerställer linjeetsningsnoggrannheten för varje wafer.
2. Vakuumbeläggningsbärare
Placerad inuti halvledarvakuumbeläggningsmaskinen placerar den spånen som ska beläggas. Titanmaterialet har en extremt låg gasemissionshastighet i en vakuummiljö, vilket inte stör det höga vakuumtillståndet inuti beläggningskammaren, vilket säkerställer likformigheten och densiteten hos beläggningsskiktet.
3. Spånprovningsfixturbas
Som baskomponent i utrustningen för sortering och testning av spån kan den höga stabiliteten som dess egen vikt medför, motverka de små vibrationer som orsakas av utrustningens höghastighetssortering, vilket gör inriktningen av sonden och spånstiften mer exakt och minskar felfrekvensen vid testning.
Anpassad service
China Super Tech Co., Ltd. kan tillhandahålla en fullständig-processanpassad tjänst från efterfrågematchning till produktleverans. Genom att förlita sig på den mogna titanlegeringstekniken kan den snabbt producera nära-nät-ämnen utan behov av upprepad formproduktion. Därefter krävs endast en liten mängd precisionsbearbetning för att uppnå den erforderliga dimensionsnoggrannheten enligt kundens specifikationer.
Vi kan justera komponenternas form och inre förstärkningsstruktur efter det faktiska installationsutrymmet och -belastningskraven för kundens utrustning, och kan även tillhandahålla ytbehandlingslösningar som passar olika renhetsnivåer enligt kundens behov. Vi kommer att följa upp bearbetningens framsteg under hela processen för att säkerställa att de skräddarsydda komponenterna direkt kan passa in i det befintliga supply chain-systemet för kundens halvledarutrustning utan att ytterligare modifiering av utrustningens gränssnitt behövs.
Specifikation
|
Parameter |
Specifikation |
|
Produktnamn |
Titanium halvledarkomponenter |
|
Material |
Rent titan (grad 1, grad 2), titanlegering (grad 5 / Ti-6Al-4V) |
|
Standard |
ASTM B348, ASTM B381, ASTM F67, ASTM F136 (anpassad tillgänglig) |
|
Tillverkningsprocess |
CNC-bearbetning, precisionssvarvning, fräsning, slipning |
|
Tillgängliga former |
Ringar, kammare, mål, flänsar, plattor, fixturer, anpassade delar |
|
Diameter |
5 mm – 1000 mm |
|
Längd |
Upp till 3000 mm |
|
Tjocklek |
0,5 mm – 200 mm |
|
Tolerans |
±0,005 mm till ±0,02 mm (beroende på design) |
|
Ytfinish |
Maskinbearbetad, polerad, spegelfinish, sandblästrad, inlagd |
|
Ytjämnhet |
Ra 0,2–1,6 μm |
|
Renhet |
Upp till 99,9 % (kommersiellt rent titan) |
|
Densitet |
4,51 g/cm³ |
|
Driftstemperatur |
Upp till 600 grader |
|
Korrosionsbeständighet |
Utmärkt motståndskraft mot syror, alkalier och ultra-rena kemikalier |
|
Certifiering |
ISO 9001, materialtestcertifikat (EN 10204 3.1 tillgängligt) |
|
OEM / ODM |
Tillgänglig |
FAQ
Varför används titan i stor utsträckning i halvledarutrustning istället för rostfritt stål eller aluminium?
+
-
Titan erbjuder en utmärkt kombination av korrosionsbeständighet, låg utgasning, hög hållfasthet-till-viktförhållande och kompatibilitet med miljöer med ultra-högvakuum (UHV). Dessa egenskaper gör den idealisk för halvledartillverkningsutrustning som utsätts för aggressiva kemikalier, plasmabearbetning och produktionsförhållanden med hög-renhet. Jämfört med rostfritt stål eller aluminium är det mindre sannolikt att titan förorenar wafers med metalljoner eller partiklar, vilket hjälper till att förbättra produktionsutbytet och processstabiliteten. Det används vanligtvis för vakuumkammare, processfixturer, gasdistributionskomponenter, waferhanteringsdelar och plasmautrustning.
Hur minimerar du partikelkontamination under tillverkning?
+
-
Partikelkontamination är ett av de största problemen för halvledartillverkare eftersom även mikroskopiska partiklar kan minska skivans utbyte. För att minimera kontaminering bör titanhalvledarkomponenter genomgå precisions CNC-bearbetning följt av lämplig ytbehandling såsom polering, passivering eller elektropolering vid behov. Komponenter rengörs vanligtvis med hjälp av halvledarrengöringsprocesser-och förpackas i rena miljöer för att förhindra kontaminering under transport. Kunder kan också begära specifik ytjämnhet (Ra), renhetsnivåer och anpassade förpackningar enligt deras utrustningskrav.
Kan du tillverka anpassade titanhalvledarkomponenter enligt ritningar?
+
-
Ja. De flesta halvledarkomponenter i titan är skräddarsydda-eftersom varje utrustningstillverkare har olika designspecifikationer. Kunder tillhandahåller vanligtvis: 2D-ritningar eller 3D CAD-filer (STEP, IGES, PDF) Krav på materialkvalitet Ytfinishspecifikationer Kritiska toleranser Renhetskrav Inspektionskrav Baserat på dessa specifikationer kan precisions CNC-bearbetning, dimensionsinspektion, materialspårbarhet och anpassad förpackning tillhandahållas före leverans.
Vilka kvalitetsdokument kan tillhandahållas med titanhalvledarkomponenter?
+
-
Tillverkare av halvledarutrustning kräver ofta fullständig kvalitetsdokumentation för att säkerställa produktkonsistens och spårbarhet. Typiska dokument inkluderar: Materialtestcertifikat (EN 10204 3.1) Rapport om kemisk sammansättning Mekanisk egenskapsrapport Dimensionell inspektionsrapport CMM-inspektionsrapport Ytgrovhetsrapport Första artikelinspektion (FAI) Certificate of Conformance (COC) Ytterligare inspektionsrapporter kan också tillhandahållas enligt kundens specifikationer.
Hur kan titankomponenter bibehålla lång livslängd i tuffa halvledarbearbetningsmiljöer?
+
-
Halvledarbearbetning involverar ofta högt vakuum, plasmaexponering, frätande processgaser och ultra-rena kemikalier. Dåligt materialval eller otillräcklig ytbehandling kan resultera i korrosion, förorening, överdriven avgasning eller förkortad livslängd. Titankomponenter av hög-kvalitet tillverkas med lämpliga titankvaliteter, precisionsbearbetning, kontrollerad ytbehandling och strikt kvalitetskontroll. Korrekt materialval tillsammans med rena tillverkningsprocesser hjälper till att förbättra korrosionsbeständigheten, minska avgasning, minimera partikelgenerering och förlänga komponenternas livslängd under krävande halvledardriftsförhållanden.
Populära Taggar: titan halvledarkomponenter, Kina titan halvledarkomponenter tillverkare, leverantörer, fabrik
